




依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等,对硅单晶片化学机械抛光(CMP)机理、动力学控制过程和影响因素研究标明,化学机械抛光是一个复杂的多相反应,它存在着两个动力学过程:(1)抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。(2)抛光表面反应物脱离硅单晶表面,即解吸过程使未反应的硅单晶重新出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程,要获得质量好的抛光片,化拋剂价格,必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用,则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用,则表面产生高损伤层。
化抛剂是一种浅色浑浊液体,主要成分为不锈钢蚀刻剂、缓蚀剂、光亮剂。
不锈钢化抛全称为不锈钢表 面化学抛光剂详细内容主要成分:不锈钢蚀刻剂、缓蚀剂、光亮剂、表面活性剂、不锈钢表面修复剂、缓冲剂等。适用范围:适用奥氏体、马氏体等多种不锈钢的表面化学抛光物理化学性质:蚀刻 剂>20%光亮剂>10%修复 剂>1.5%其他活性剂>4%特 性:本产品是一种新型的不锈钢化抛剂;药剂具特 殊的缓冲体系,抛光效能稳定。该产品使用简单、方便,抛光亮度易控制 ,可根据处理的温度和时间来控制,温度高则时间短,反之温度低则时间长。抛光后的产品亮度均匀 一致,南平化拋剂,且本药剂的处理温度为中温,无需加过高的温度。
硅材料抛光液、蓝宝石抛光液、抛光液、铌酸锂抛光液、锗抛光液、集成电路多次铜布线抛光液、集成电路阻挡层抛光液、研磨抛光液、电解抛光液、不锈钢电化学抛光液、不锈钢抛光液、石材纳米抛光液、氧化铝抛光液、铜化学抛光液、铝合金抛光液、镜面抛光液、铜抛光液、玻璃研磨液、蓝宝石研磨液等,化拋剂销售,本品用于304、321、316、201、202、420、430等各种型号的不锈钢电解抛光时使用,使用成本低,化拋剂哪家好,效果明显,可达镜面光亮效果,不锈钢抛光后光泽持久、美观大方、增加了产品的附加值。
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