半导体行业CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展，对抛光技术提出了新的要求，传统的抛光技术（如：基于淀积技术的选择淀积、溅射等）虽然也可以提供“光滑”的表面，但却都是局部平面化技术，不能做到全局平面化，而化学机械抛光技术解决了这个问题，三酸抛光销售，它是可以在整个硅圆晶片上平坦化的工艺技术。
机械抛光：
机械抛光一般是将工件压向预先涂有抛光膏(剂)的转动布轮或其他弹性轮子上的操作.其实质是用抛光轮来平复磨光后的制件表面上极微小的不平处.铝型材通过机械抛光可得到似镜而般的表面，其泽色随所用抛光膏不同而变化，其外观问抛光者技术有关.电解抛光是将工件作为阳极，在电解过程中，工件突出的部位溶解速度大于低凹处，随着抛光的进行，工件表面的微观及宏观的凸凹部分得以整平.这一过程能改善金属表面的显微几何形状，三酸抛光，降低金属表面的显微粗糙程度，铝型材使零件表面变得光亮.
基本原理：
金属试样表面各组成相的电化学电位不同，形成了许多微电势，在化学溶液中会产生不均匀溶解。在溶解过程中试样面表层会产生一层氧化膜，试样表面凸出部分由于粘膜薄，金属的溶解扩展速度较慢，抛光后的表面光滑，但形成有小的起伏波形，三酸抛光价格，不能达到十分理想的要求。在低和中等放大倍数下利用显微镜观察时，这种小的起伏一般在物镜垂直鉴别能力之内，仍能观察到十分清晰的***
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