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自由电子雷射将相对论性电子束通过一对波荡器。每一个波荡器是由一排交替方向的磁场的磁偶极矩组成。由于这些磁场的作用，电子会发射同步辐射；而这辐射会同调地与电子相互作用。
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细心地分析这些数据，即可得到分辨率为原子尺寸的样本影像。使用蓝色光，厦门***空调，普通的光学显微镜的分辨率，因受到衍射限制，大约为200nm；相互比较，电子显微镜的分辨率，则是受到电子的德布罗意波长限制，对于能量为100keV的电子，分辨率大约为0.0037nm。
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低能电子衍射技术（LEED）照射准直电子束于晶体物质，然后根据观测到的衍射图案，来推断物质结构。这技术所使用的电子能量通常在20～200eV之间。反射高能电子衍射（RHEED)）技术以低角度照射准直电子束于晶体物质，然后搜集反射图
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