工艺真空系统-明胜机电(在线咨询)-真空系统

真空系统，实为1台或多台真空泵和1个或多个真空储气罐，再加上一个***电源控制箱为主，也可按客户要求配置真空度或电磁阀等控件组成的。系统应用范围广泛，无论抽气速度、容量和真空压力都可以按客户的特殊要求而做出适当的选择，结合不同的应用，配合制程需要而调整适当的系统要求，用于供应整厂或多方面机械设备应用的真空要求。

水环-罗茨真空机组为ZJP系列罗茨泵作为主泵，水环泵作为前级泵的抽气机组，工艺真空系统，

它不仅可以抽除一般气体，还可以抽除含有少量水份及灰尘气体，它一般水环泵和

机械泵相比具有不怕油污染，不怕水汽与微尘，极限真空度高以及在较高真空度工

况下抽速大的特点，是轻纺，罗茨真空系统，食品，化工，等行业领域的干燥，真空系统，脱气及真空除气的

一种理想的真空抽气设备。

漏孔校准采用四极质谱比对法校准。比对法校准较小漏率真空漏孔时，为了得到与被校漏孔相同或相近的气体流量，一般采用固定流导法作为标准气体流量获得的手段，该方法具有结构简单、操作方便、测量不确定度小、校准精度高等优点。

　　原理为利用已知流量的标准漏孔，通过稳压室压力的调节，水环真空泵系统，向双球校准室注入稳定流量的气体，并利用分子泵机组对真空校准室持续抽气，并通过微调阀调节气体的流量，使校准室压力维持在合适的校准压力范围内，为校准室建立起漏孔气体的动态平衡。首先利用四极质谱计获得标准漏孔的离子流参数，再切换到被较漏孔，获得被较漏孔状态下的四极质谱计离子流。通过公式(1)计算得出被较漏孔漏率数值。