精密/超精密运动滚珠丝杆线性模组的发展历史
2018年，中兴事件的爆发加速了大陆地区半导体设备国产化进程，尤其是后道工艺制程设备。6/8/12英寸硅基晶圆AOI检测、4/6英寸碳化硅晶圆AOI检测、芯片分选机等半导体封装、晶圆wafer隐性切割、检测设备逐渐进入国内有名的半导体Fab厂，并得以批量应用。由于半导体设备对精度等级的要求较高，因此该细分市场带动了精密运动滚珠丝杆线性模组的精度等级的多方面提升，半导体检测设备所需的***精度小于5微米，使得半导体设备中精密***系统几乎全部采用了直线电机驱动的精密运动滚珠丝杆线性模组，预计今年半导体设备对滚珠丝杆线性模组及运动台的需求量约为0.75亿，并将以每年30%的增幅递增。
小型滚珠丝杆线性模组的用途有哪些
1.激光雕刻
开放式单导轨丝杆电机标配，标准型重复***精度±0.05mm,适合于在普通环境下使用，此产品由于其特有的设计，一般比市面上同类产品承载大30%左右，而且价格不高，具有很高的性价，fsl40滚珠丝杆线性模组，本体宽度40mm，体积小，应用于激光雕刻行业，技能保证精度偏差小，又能保证高速运作，提高工作效率。
2.激光打标
滚珠丝杆线性模组，采用高精度滚珠丝杆+高刚性铝型材组合而成，本体宽度40mm，重复***精度0.05mm，具有高速稳定的特点。
激光打标机采用扫描法打标，即将激光束入射到两反射镜上，利用计算机控制扫描电机带动反射镜分别沿X、Y轴转动，激光束聚焦后落到被标记的工件上，从而形成了激光标记的痕迹，滚珠丝杆线性模组具有高速高精密度的特点，且部件结构简单，可进行多轴组合使用，是激光打标的首要部件。
如何检验滚珠丝杆线性模组滚珠丝杆测轴承润滑油的变质问题
1.滚珠丝杆线性模组手捻法：将润滑油捻在大拇指与食指之间反复研磨，较好的润滑油手感到有润滑性、磨屑少、无摩擦，若感到手指之间的砂粒之类较大摩擦感，则表明润滑油内杂质多，不能再用，应更换新润滑油。
2.滚珠丝杆线性模组光照法：在天气晴朗的日子，用螺丝刀将润滑油撩起，与水平面成45度角。对照阳光，观察油滴情况，在光照下，可清晰地看到润滑油中无磨屑为良好，可继续作用，若磨屑过多，应更换润滑油。
3.滚珠丝杆线性模组油滴痕迹法：取一张干净的白色滤试纸，滴油数滴在滤试纸上，待润滑油渗漏后，若表面有黑色粉末，用手触摸有阻涩感，则说明润滑油里面杂质已很多，好的润滑油无粉末，用手摸上去干而光滑，且呈***痕迹。
