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首先在器件和产品的设计中,应充分体现静电防护的思想,在器件内部设置静电防护元件(ESD Protection Device),尽量使用对静电不敏感的器件以及对所使用的静电放电敏感(ESDS, ESD-sensitive)器件提供适当的输入保护,使其更合理地避免ESD的伤害。MOS工艺是集成电路制造的主导技术, 以金属-氧化物-半导体场效应管为基本构造元件。由于MOS器件中场效应管的栅、源极之间是一层亚微米级的绝缘栅氧化层,故其输入阻抗通常大于1000M ,并且具有5pF左右的输入电容,极易受到静电的损害。因此,在MOS器件的输入级中均设置了电阻-二极管防护网络,串联电阻能够限制尖峰电流, 二极管则能限制瞬间的尖峰电压。器件内常见的防护元件还有:电容、双极晶体管、可控硅整流器(SCR,见图1)等, ESD发生时,它们在受保护器件之前迅速作出反应,将ESD的能量吸收、释放,使被保护器件所受冲击大为降低。正常情况下,防护元件在其一次崩溃(First Breakdown)区内工作,不会受到ESD损伤,一旦外加电压或电流过量(Overstress),进入二次崩溃(Secondary Breakdown)区的防护元件将受到不可逆转的损害,失去对器件的保护作用。
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超导电静电刷消除法
操作工序:选用超导电静电刷与设备的地线连接,静电刷与基材垂直安装于机架上。
工作原理:当静电刷的顶端靠近带电体时,在顶端感应出极性与带点体上静电极性相反的电荷,并在顶端附近形成很强的电场,该电场是空气电离后,产生正、负离子在电场作用下分别向带电体和静电刷的顶端移动,由此使静电中和。
使用误区:多数设备在薄膜印刷之前,只在印刷的正面或者是反面加装静电刷,只能消除次面的静电。而另一面的静电依然存在,同样会造成印刷的墨斑、墨须、花点等印刷问题的出现,即使静电刷安装于印刷面,也会有同样的问题。必须消除塑料或纸张两面的静电,才会避免前文“静电的危害”所讲的印刷不良品的出现。
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当用于运载静电敏感元件的手拖车带有绝缘滑轮时,在车低置一个链,以防止静电荷积累。任何手拖车在发现没有接地链时必须向主管报告,当链子凸出车外有可能补推车人踩上时,也必须向主管报告。
正确的防静电操作规则
1、操作E S D元件时必须始终配戴不良好的接地的手带,手带须与人的皮肤相触。
2、必须用保护罩运送和储存静电敏感元件。
3、清点元器件时尽可能不将其从保护套中取出来。
4、只有在无静电工作台才可以将元件从保护套中取出来。
5、在无防静电设备时,不准将静电敏感元件用手传递。
