爱德华真空泵-爱德华真空泵e2m80-明胜机电(诚信商家)

概述

Edwa*** 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。

我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。

Drystar 泵可以与 Edwa*** EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。

应用

真空感应熔炼 (VIM)

精密熔模铸造 (PIC)

真空电弧精炼 (VAR)

真空镀膜

电子束焊接

真空烧结

钢脱气

硬化

等离子和 LP 氮化

LP 渗碳

真空铜焊

粘辊

玻璃涂层

滤光片和镜头

真空喷镀

硬盘和光盘母版制作

变压器、电容器和电缆

皮革

辛香料和芳香剂

核工业

真空腔修整

太阳能电池生产

高度可靠的干燥机械装置，已经过 60，000 多套产品实际验证。

技术数据　GV80GV160GV250GV400GV600构造3 爪 + 1 杆2 爪 + 1 杆3 爪式3 爪式3 爪 + 1 杆排量（工作容积）91.5 m3h-1200 m3h-1341 m3h-1540 m3h-1793 m3h-1抽速 *80 m3h-1180 m3h-1250 m3h-1380 m3h-1560 m3h-1极限压力<0.03 mbar<0.1 mbar<0.4 mbar<0.4 mbar<0.05 mbar10 mbar/7.5 Torr 时的功耗3 kW4.2kW6 kW7 kW7 kW电机额定功率4 kW7.5 kW11 kW18 kW22.5 Kw20 oC 时的冷却水流量1 l min-11 l min-14 l min-14 l min-15.5 l min-1封口吹扫（干燥空气）

英国爱德华RV12油封旋片泵 功能，同时具备高真空和高吞吐量性能，超低的噪音级别和卓气囊装置，使其成为广泛适用于各种应用和环境的理想产品.爱德华 RV3、RV5、RV8、RV12 油

封式旋片真空泵，Edward真空泵，Edward RV 泵装有 Ultragrade 19 号油。这一油品

通过一系列添加剂专门调配，可提供高于任何其他矿物油的真空性能。正因如此，它既能提供受

到极严格控制的蒸汽压力，又具有极强的抗水化能力，可实现较长的使用寿命。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，爱德华真空泵过滤器，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，爱德华真空泵e2m80，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，爱德华真空泵维修，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时，爱德华真空泵， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。