明胜机电-爱德华真空泵

涡旋真空泵的主要性能表征参数

5.1.1间隙大小

   间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和

装配精度进行控制的，也比较容易控制，爱德华真空泵e2m80，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以

由式((2.11)计算得到，即

                         e二，*R，-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽气速率

   理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一

个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵

为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:

                     S1，=2仇、+Vol卜(5.2)

   其中VII， Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压

缩腔的容积。、

   实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄

漏，其实际抽速S要低于理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，

Q。为总泄漏，则〔10)

                                 S*PL=Sw*P，司t

则实际抽速为

       g

J=J"*一下了

         r，

(5.3)

5.1.3极限压力

   涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达

到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际

抽速S=O，即可得极限压力〔10)

(5.4)

Drystar GV400和EH2600/EH4200泵组系列结合了经过实际应用检验的EDWARD爪式干泵和液压驱动增压泵；相对系统油封真空泵系统，它具有价格低廉、性能优良和结构紧凑等优点，是一套清洁、耐用的抽气系统。

   Drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。Drystar泵组、成本低，并且能够处理粉尘和水蒸汽，免除了油封真空泵系统因工艺污染而导致性能下降和需要频繁维护的***。

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