爱德华真空泵-明胜机电-爱德华真空泵维修

适用于研发实验室的实验室真空系统我们提供丰富多样的真空产品， 以应对当今研发实验室所面临的种种挑战。 通过与各主要科学仪器制造商、大学院校和主要研究机构的 通力合作，edwa***爱德华真空泵，我们能够深入了解研究过程以及真空技术 所发挥的作用。我们专注于真空领域的技术进展，并 ***于研发，因此能够开发满足您的特定应用 要求的产品。 单一供应商：

广泛的产品组合齐聚一堂基于技术的解决方案：

从 UHV（超高真空）到大气压安心：

经验丰富，可帮助您选择解决方案

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，爱德华真空泵，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，爱德华真空泵，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，爱德华真空泵维修，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。

爱德华70#真空泵油应用：

   真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用，亦可用于各种扩散真空泵等。推荐用于工艺品、陶瓷、化学等领域的真空泵使用。

供应英国爱德华19号真空泵油，规格4L /208L现货，爱德华真空泵油用于E2M175/275/80/40，油式旋片泵，看真空泵型号选用油号对用，因为真空泵油粘度不一样。

爱德华70#真空泵油特性：

真空泵油具的氧化稳定性，长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质，减少***漆膜和油垢的形成，提供较长的换油周期。

真空泵油具有优异的防锈防腐蚀性，能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。

真空泵油能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。

真空泵油具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。