超临界流体（SCF）的优点是密度大，溶解度大，传质速率高，扩散性能好，表面张力小。吸附的有机物非常容易溶于SCF溶剂。通过改变温度和压力，可以有效地将有机物与SCF分离，达到活性炭再生的目的。超临界流体（SFE）法再生活性炭中，常用的超临界流体为超临界CO2。该法对吸附类型是化学吸附的有机物再生效率不高，同时对工艺的技术及设备材料的要求比较高，***费用大。该方法的研究还大都处于实验室规模，离实现工业化还有一定差距。
在废气处理设备工艺中吸附法应用比较广泛的一种。在我们的日常生活中也会经常用到活性炭去处理生活中的一些异味，像去除水中的异味、微污染物质等等。 活性炭吸附工艺原理，就是活性炭具有发达的空隙，比表面积大，具有很高的吸附能力的特点。根据活性炭的这个特点，在废气处理设备中，当VOC有机废气进入活性炭装置中时，由于活性炭固体表面上存在着未平衡和未饱和的分子引力，当气体通过活性炭时，就能吸引废气内污染分子，使其浓聚并保持在固体表面，污染物质就会被吸附住，废气经过滤器后，进入设备排尘系统，净化后的气体高空达标排放。
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