光学平台仪器-志城精研公司

光学平台是一种隔除振动的工作平面，它利用自身的固有频率能有效避开环境振动所产生的共振现象，旋转台，控制振幅放大，减少振动传递率，消除环境振动对使用精度的影响，光学平台仪器，广泛应用于光学测试、激光扫描、激光干涉和光学制造等科研和教学领域中，适用于全息技术、光谱实验技术、精密检测技术、现代光学、激光技术、集成电子学、***生物及光纤等工程领域。光学隔振平台外框采用刚性强，变形小，焊接性能好的出色中碳钢板；隔振层利用固有频率低，阻振性能强的蜂窝结构材料，能Z大限度控制振动的响应。

共振峰***技术，精密光学仪器运行时，机械振动指标要求甚高，而载体振动环境却较恶劣，对支撑致稳系统提出更高的要求。一般来讲，光学减振平台可以有效地衰减高频振动(5 Hz以上)，但如果光学系统的应用环境比较恶劣，伴随着高强度的低频晃动，被动减振的固有缺陷——低频共振放大将在此时明显地表现出来，因此，必须采取有效的共振峰***技术来控制。通过原理验证试验证明了改变节流孔径的大小可以有效地***共振放大。但同时发现在高频段的振动隔离能力受到了一定的影响。高频振动隔离能力的削弱主要来自空气tan簧和附加气室的整体连接，导致高频振动所产生的微弱压力差生成的微小气体量在空气tan簧和附加气室间来回流动，导致产生阻尼，影响了高频隔振能力。

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。