




特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种,按***性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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电子特气系统的维护
由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,高纯供气公司,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,高纯供气报价,程序自动进行抽气,内蒙古自治高纯供气,置换等动作,高纯供气价格,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,确保气柜各管路与阀门吹扫干净。
(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(N2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12PSI,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(PT)受温度的影响,一般有2PSI的正负波动。
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试验室集中供气系统的特点
1、特点:试验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为试验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。
2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的试验室空间,更换气瓶时不需要切断气体,保证气体的连续供应。使用者只需管理较少的气瓶,***较少的气瓶租金,因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式终会减少运输费用,减少退还给气体公司的空瓶中的余气量,以及良好的气瓶管理。
3、使用率:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处,这样的话可以更合理的设计工作场所。
4、安全性:保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受******气体的侵害。
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