随着***的设备和工艺的发展，科研级气浮隔振平台定制，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在***过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。
光学平台的主要配件有支撑架，光学平台包括刚性、无隔振支撑架，被动式隔振支撑架，主动式自动调平支撑架。光学平台其他配件还包括货架、安装座、桌下搁板、振动隔离配件、可安装支杆的光学平台配件、可调式光学爬升架安装座、光学面包板罩壳、遮光材料、磁性薄片等等。
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光学平台怎么清理掉里面的东西呢，这要看你掉的是什么样的物件了，如果平台重量不是很重，可以把平台翻转过来，用气流吹，看能否掉出来，估计这个动作很难做到，平板重量都不轻。可以试试用真空吸头吸出来，如果是小物件一吸就吸出来了。
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