LED厂高层主管指出，晶圆酸洗机，目前大陆各地方在节能减碳的落实上都有压力，必须借重台湾LED厂的实力，但又止不希望由台厂来主导，因此大多数愿意以权利金的方式***，对台厂是一大利基。
随着台湾大部份LED厂商产能都被绑住，二线厂也开始受惠，
据了解，淮安晶圆，未来还有其它的LED厂也会有来自地方级的权金利收入。
LED厂高层主管指出，目前大陆各地方在节能减碳的落实上都有压力，晶圆腐蚀机，必须借重台湾LED厂的实力，但又止不希望由台厂来主导，因此大多数愿意以权利金的方式***，对台厂是一大利基。
湿法刻蚀机台，适用于半导体湿法刻蚀工艺，包括:支撑结构，支撑结构提供一支撑面用以支撑待刻蚀的晶圆;待刻蚀的晶圆与支撑面之间预设一预定距离，支撑面朝向待刻蚀的晶圆的一面均布有多个气体喷嘴;控温加热装置，连接边缘的气体喷嘴的气体管路，以加热气体管路内的保护气体;喷嘴装置，设置于支撑面的上方，喷嘴装置包括一喷嘴与一液体输送管，晶圆腐蚀，喷嘴设置于朝向支撑面的一面，液体输送管连接喷嘴背向支撑面的一端。
芯片线宽的缩小对刻蚀本身的准确度以及重复性有了更为严苛的要求。多次刻蚀要求每一个步骤的准确度足够高，才能使得整体生产的良率保持在可接受范围内，因此除了对于刻蚀整体步骤数有明显增加外，还对每一步的刻蚀质量有了更高的要求。端制程占比持续提升的大背景下，晶圆厂对于刻蚀本身的资本开支也在大幅提升，在整体制造工艺未发生较大变化的情况下，晶圆代工厂中刻蚀设备的占比将持续提升。
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