MEMS是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内；微机电系统有多种原材料和制造技术，而硅则是用来制造微机电系统的主要原材料，微机电系统的生产方式是在基质上堆积物质层，然后使用平板印刷和蚀刻的方法来让它形成各种需要的结构。
化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF，H2SO4，显影清洗，H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，滨州显影，目的是为了去除杂质，去离子，去原子，后还有DI清洗。IPA是，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。
通过联合使用化学***滴胶和NANO-MASTER的兆声清洗技术，系统去除颗粒的能力得到进一步优化。颗粒从表面被释放的能力也因此得到提升，从而被释放的颗粒在幅流的DI水作用下被扫除出去，而把回附的数量降到了***低水平。从基片表面被去除。如果没有使用幅流DI水的优势，***的静态可循环兆声清洗槽会有更大数量的颗粒回附，并且因此需要更多的去除这些颗粒。
主要清洗参数为：1、材质：槽体为全不锈钢制作，耐酸耐碱，外形美观大方。2、机型：可根据客户要求加工定制。3、功率、频率：可调，采用超声波发生器，能量转换率高。4、温控：常温0-110℃可调。5、支架可根据要求和实际需要定制。
清洗设备分类
清洗设备是指废旧塑料瓶、塑料薄膜等废旧塑料经过清洗、烘干、加工制作成重新再利用的机械设备。
清洗设备分为:pet瓶片清洗设备、不锈钢成套清洗设备、塑料清洗设备、新型清洗设备、小型清洗设备、中型清洗设备等。
Pet瓶片清洗设备是指全自动聚酯(如矿泉水瓶、苏打水瓶)片料回收清洗、脱水、干燥生产线，pet瓶片清洗设备(饮料瓶片清洗机设备、pet清洗机组)该生产线月产量可达300-1200吨，自动化程度高，从破碎、输送、清洗、漂洗、脱水、干燥一体化。
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