旋片式真空泵冒烟和喷油：指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油。
1、冒烟，如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象，属于正常，如果长时间在冒烟就是不正常了。解决之道：冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了，冒烟会结束。涡街流量计
旋片式真空泵噪音：这里指泵的噪音。
1、敲缸，泵运转时发出不规律的响声，似金属敲打金属的声音。这是旋片在击打泵体发出的声音。这种情况主要是配对旋片间的弹簧断或者是收缩或弹出失效造成的。解决之道：打开泵检查旋片弹簧是否损坏。更换好的弹簧。
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真空泵膜片老化损坏，需要更换，联轴器断裂磨损需要更换无油隔膜泵产品特点：隔膜型真空泵无需泵油；工作、噪音低；
爱德华IXL系列干泵适用于半导体和太阳能应用；
iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 抽空负载锁定舱室，能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。舱室抽空时间可减少总体平均循环时间 . 低能耗；仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本 . 环保模式可以在空闲 期间可减少 92% 的功耗
一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，莱宝SV300B真空泵维修厂家，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。
一般来说，罗茨泵具有以下特点：
（１）在较宽的压力范围内有较大的抽数；
（２）设有旁通溢流阀可在大气压下启动。缩短了抽气时间；
（３）转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵内运动件无摩擦，不必润滑，泵腔内无油；
（４）转子形状对称，动平衡性能良好，运转平稳，选择的齿轮传动，运转时噪声低；
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