3、风机过滤单元
风机过滤单元（FFU）是净化工程空气净化系统的关键模块。其工作原理为：风机由FFU顶部将空气吸入并经初、过滤器过滤，过滤后的洁净空气以0.45m/s的平均风速经由出风面均匀送出。
4、层流罩
层流罩主要由箱体、风机、空气过滤器、初效过滤器、多孔板、控制器组成，外壳冷板喷塑或不锈钢板。层流罩的主要作用是将空气以一定的速度通过过滤器，制药厂厂房净化设计，形成均流层，促使洁净空气呈垂直单向流，从而保证工作区内达到工艺要求的高洁净度。
电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择
电子洁净厂房工艺给水主要有工艺冷却水及纯水。
工艺冷却水主要应用于各种工艺设备的冷却。由于工艺设备内的冷却管道有很多为管径很细的毛细管道，食品厂厂房净化设计，为避免毛细管道的结垢，对工艺冷却水的水质也提出了相应的要求。
纯水主要应用于各种电子产品的清洗，潍城区厂房净化设计，纯水的使用可以避免水中杂质对电子产品的污染。应用于电子厂房的纯水的主要特点不只是水的电阻率高，注塑厂房净化设计，还对颗粒度、总有机碳（TOC）、总硅、溶解氧（DO）、以及各种离子的含量有不同的要求。
1. 除去空气中飘游微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子的产生。
3. 温度和湿度控制。
4. 压力调节。
5. ***气体排除。
6. 结构物与隔间的气密性。
7. 静电防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素考虑。
10. 节能之考量。
洁净室洁净等级划分的原因：(四)洁净室之分类
1.乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。
2.层流式：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
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