BL57-RE
级别的快速响应和高精度1060mm的有效长度
信号波长:400nm
内置原点
<应用程序>精密测量仪、精密载物台等
BL57-NE
小型形状有利于组装到精密设备中
原理上对温度、湿度、气压的变化和空气的波动影响小,采用低膨胀玻璃可以进行更稳定的测量
信号波长:400nm
<应用程序>高精度显微镜形状测量装置等
型名 | BL57-RE | ||
形式 | F | G | H |
出力方式 | A/B相出力タイプ | アナログ出力タイプ | |
検出方式 | 回折格子走査式 | ||
スケール長 (低膨張ガラス) | 有効長(mm) | 30、60、110、160、210、260、310、360、410 | |
スケール 全長 | 有効長+36mm | ||
可動長 | 有効長+10mm(片側5mm) | ||
スケール長 (青板ガラス) | 有効長(mm) | 60、160、260、360、460、560、660、760、860、960、1,060 | |
スケール 全長 | 有効長+36mm | ||
可動長 | 有効長+10mm(片側5mm) | ||
精度(20℃にて) | ±0.5μm(30~160mm)/±1.0μm(210~360mm)/±1.5μm(410mm以上) | ||
格子ピ***チ | 1.6μm | ||
信号波長 | 0.4μm(400nm) | ||
出力信号 | 差動 (***-422準拠) | 差動 (原点出力仕様のみ***-422準拠) | |
出力分解能 | 0.1/0.05μm(切替え可能) | 0.02/0.01μm(切替え可能) | 0.4μm(1Vp-p) |
原点精度(20℃にて) | ±0.4μm(***械の走り精度に依存) | ||
原点位置 | 任意の1点(有効長範囲内) | ||
原点検出方向 | 片方向同期原点 | ||
温度膨張係数 | 低膨張ガラス:-0.7×10-6/℃・青板ガラス:8×10-6/℃ | ||
光源 | 半導体レーザ 波長790nm 出力6mW | ||
***パワー | JISクラス1 DHHSクラス1 | ||
使用温度範囲 | 0℃~40℃(結露不可) | ||
保存温度範囲 | -10℃~50℃ |