高速、高分辨率的同时，实现稳定的超精密测量。***适合精密载物台、半导体检查、制造装置、超精密加工机等。
超过光波干涉仪信号波长138nm的高分辨率标尺
不受湿度、气压、空气紊乱影响的高稳定性
原点精度：±0.1µm
精度：±0.04µm以下（有效长度40mm）
完全非接触原理上不会产生返回误差
有效长度：40～420mm，9种（-R/-RS）
有效长度：10～420毫米，10种（-N/-NS）
真空、非磁性对应（特殊规格）
使用低膨胀长玻璃：-0.7×10-6/℃（有效长度：10～420mm）
分辨率：2.1pm
| 型名 | BS78 | |
| 有効長：L(mm) | 10/40/70/120/170/220/270/320/370/420(10はN/NSのみ) | |
| スケール全長 | 58mm(有効長10mm：片持ちタイプ) 有効長+26mm(有効長40～420mm) | |
| 可動長 | 有効長＋2mm(有効長10mm：片持ちタイプ) 有効長＋10mm(有効長40～420mm) | |
| 精度(20℃にて) |
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| 格子ピ***チ | 約0.55μm | |
| 信号波長 | 約0.138μm（約138nm） | |
| 原点精度 | ±0.1μm(R/RSタイプのみ) | |
| 原点位置 | ***および***から左右へ各50mm毎(320、370、420mmの有効長のみ50mm間隔で***より20mmオフセ***ト) | |
| 原点検出方向 | 片方向 | |
| 温度膨張係数 | －0.7×10-6/℃ | |
| 光源 | 半導体レーザ 波長790nm 出力6mW | |
| ***パワー | DHHSクラス1 | |
| 検出方式 | 回折格子走査式 | |
| 使用温度範囲 | 10℃～30℃(結露不可) | |
| 保存温度範囲 | －10℃～50℃(湿度60％以下) | |
| 応答速度 | 400mm/s |
| 型名 | BL50H-SZ＊＊＊＊＊ | BL50H-SA＊＊＊＊＊ |
| スケール材質 | ZEROガラス 0.1×10-6/℃ | ***アルカリガラス 3.7×10-6/℃ |
| 有効長 | 30~570ｍｍ | |
| 格子ピ***チ | 1.6μm | |
| 原点 | *** / 有：センター1か所 | |
| 精度 （20℃にて） | ±0.1μm/500mm（インタポレータBD700補正時）、±0.5μm/30mm~120mm、±1μm/170mm~270mm、 ±1.5μm/320mm~370mm、±3μm/420mm~570mm（特殊仕様で±1.5μm） | |
| 内挿精度 | ±50pm(インタポレータBD700使用時） |
ヘ***ドユニ***ト
| 主な仕様 | ||
|---|---|---|
(※) : インタポレータBD700にてA/B相、各社シリアルインターフェース、アナログ出力に変換 | ||
レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は***に***ですので、検出ヘ***ド部をのぞ***込まないようにしてく***さい。 記載内容は予告なしに変更する場合があります。 | ||
| 型名 | BL50H-FS＊＊＊D | BL50H-FS＊＊＊H |
| 出力信号 | インタポレータBD700接続 (※) | アナログ 1Vp-p |
| 信号波長 | 400nm | |
| ***小分解能 | 6.1pm | － |
| 応答速度 | 3m/s（特殊対応で5m/s） | 5m/s |
| クリアランス | ZEROガラス:3.4±0.2mm ***アルカリガラス:3.8±0.2mm | |
| 角度許容値 | ヨーイング:±8.7mrad ピ***チング:±8.7mrad ローリング:±8.7mrad | |
| ヘ***ドケーブル長 | 1m、3m、6m | 0.5m、1m、3m |
| 使用温度範囲 | +10℃～+40℃（結露不可） |
