





德国业纳检测设备
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粗糙和轮廓测量仪器像散测定法
其测量原理物体表面上被照射着的光B通过物镜成像于位置Qx当光点与物镜距离(光轴方向)变到A或者C时,则成像位置也会分别移至Px或Sx若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束,就可发现光束的直径也随之变化也就是可以检测光束直径的变化量来判断成像的位置在物镜后面插入一块只能在Y轴方向聚束的柱面透镜Y轴方面的成像将往前移至Py,Qy,Sy以后光束便发散由于X轴,Y轴方向上成像位置的不同,光束成椭圆状,如图4所示,故光点远离物镜时,则为长轴在Y轴上的椭圆;相反,靠近物镜时,则为长轴在X轴上的椭圆,粗糙和轮廓测量仪器代理商,用象限光电探测器(四等分光电二极管)作传感器,光束经光电转换后再放大和计算,可获得与被测表面微小变位量相对应的输出信号,这种方法分辨力可达到纳米级别,但测量范围较小。

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