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变压吸附法是一种气体吸附分离技术,通过改变压力来实现气体的吸附和解吸过程。吸附分离是利用吸附剂对特定气体吸附和解析能力上的差异进行分离的。为了促进这个过程的进行,高纯氦气供应,常用的有加压法和真空法等。吸附过程具有体积相对较小、自动化程度高、操作简单等特点。但变压吸附存在出气过程不稳定、产品气纯度有波动等问题。
低温冷凝吸附法是采用制冷机为冷源的分离方法,利用氦气沸点低的物理特性,达到分离气体的目的。此种方法适用于氦气使用量小、压力稳定且连续使用的工况。
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