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流量控制器优点

热式质量流量器可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量;浸入式热式质量流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式热式质量流量计更适合于大管径。

热式质量流量计无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，大流量流量计哪家好，但压力损失也不大。

热式质量流量计使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。

热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右;用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。

气体的比热容会随着压力温度而变，大流量流量计哪里有，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。

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流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。

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流量控制器的原理是什么？

质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大， 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较， 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表， 设定电位器， 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。

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