科研级气浮隔振平台-志城精研(在线咨询)

精密光学平台气囊减振及机械阻尼减振，气囊减振可获得较低的频率（0、7-3）Hz，机械阻尼减振效果稍逊(3-6)Hz所采用不同的方法减振效果也不同，在选择精密光学平台的时候要考虑所要求的精密光学平台其减振性能与实验采集数据的精密性相适应，精密光学平台调试精密度与稳定性能也直接影响数据的正常采集。

精密光学平台的桌腿中装有气动单元，它与平台的材料及设计相结合可以减少环境中的物体（例如人员走动、建筑物内其它设备以及行驶的汽车等）造成的大幅度低频振动。这些外部力会使平台发生刚体运动，这种运动本质上是2维的并且对大多数光学实验不会造成影响。在千赫兹频段的高频振动也不会明显地影响平台的稳定性。然而，造成精密光学平台表面弯曲的中频共振及弯曲振动会对光学实验的准直造成极大影响。

共振峰***技术，精密光学仪器运行时，机械振动指标要求甚高，而载体振动环境却较恶劣，对支撑致稳系统提出更高的要求。一般来讲，光学减振平台可以有效地衰减高频振动(5 Hz以上)，但如果光学系统的应用环境比较恶劣，伴随着高强度的低频晃动，被动减振的固有缺陷——低频共振放大将在此时明显地表现出来，因此，必须采取有效的共振峰***技术来控制。通过原理验证试验证明了改变节流孔径的大小可以有效地***共振放大。但同时发现在高频段的振动隔离能力受到了一定的影响。高频振动隔离能力的削弱主要来自空气tan簧和附加气室的整体连接，导致高频振动所产生的微弱压力差生成的微小气体量在空气tan簧和附加气室间来回流动，导致产生阻尼，影响了高频隔振能力。

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，科研级气浮隔振平台，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。