特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4；特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，南京特种气体，特别是微电子技术的发展而发展起来的。灭菌特种气体主要应用于（绷带、缝线及***器具）、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。
特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体，其中常用的有20～30 种。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，特种气体供应商，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。
电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，高纯特种气体，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，特种气体厂，因此成为衡量半导体技术的产品。根据有关数据显示，中国特种功能电子气体市场规模逐年增长，仅2016年，中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是，从产业链以及技术层面欧美***占据较好的地位。特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体，另一类为混合气体。对于单元高纯气体，根据现已收集到的文献，汇总起来共有227种，可分成五个类别。
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