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***，***模式即计算机采用自然光源的模式，通常分为多种，手动***、自动***等模式。照片的好坏与***有关，也就是说应该通多少的光线使感光元件能够得到清晰的图像。棕片***机：将胶片上的图通过***影印到棕片(重氮片)上。网版***机：又称网版晒版机，将胶片上的图***到涂了感光物的网版上。运用好特殊的光线往往能够拍摄出很多不同于一般的效果，


显影检验良品率和重新工艺处理率随掩膜水平而变。总体上，黄圃***显影工艺，在掩膜次序中有较宽的特征图形尺寸、较平的表面和较低的密度，***显影工艺价格，所有这些会使掩膜良品率更高。在晶圆到了关键的接触和连线步骤时，重新工艺处理率会有上升趋势。总体上有四类晶圆上的问题适用于显影检验和终检验，如在图案尺寸（关键尺寸测量）上会有偏差；有***不准的图案；有表面问题如光刻胶的污染、空洞或划伤及污点和其它的表面不规则。

对准***阶段是光刻工艺的重要阶段，使用的掩膜***机，***显影工艺生产厂家，即光刻机，集中了光刻工艺中重要的工艺技术。对准***过程通常在黄光实验室中进行。

使用的光刻机也根据不同的***原理，分为接触式***，接近式***和投影式***。也可按自动化程度高低分成手动式，***显影工艺工厂，半自动式NXQ4006，和全自动式光刻机NXQ8000系列***后应尽快进行显影步骤中的烘干处理，从而有效降低驻波效应的影响，


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