全自动硅片腐蚀清洗机
全自动硅片腐蚀清洗机型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB。该设备适用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀，德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;一、槽体结构：该槽体实现腐蚀或后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能。它由安装在槽体底部的排阀、DI注入孔（包括氮气鼓泡）及顶部左右两侧的DI喷嘴实现槽体的快速注入与排放。二、工艺控制：冲洗槽（QDR）的工作过程由***K200型控制器保证。所有工序均由机械手自动行走自动完成。
设备特点：
（1）本设备为吊臂式全封闭式、全自动化、超声波清洗机，过程为人机界面一体化。
（2）槽体及副槽使用sus304 2mm材质，结构稳定牢固，运行安全，使用寿命长，在槽体接口衔接处进行紧密的结合。
（3）针对所清洗产品的特点，超声波采用下辐射清洗，发生器采用功率模块电源，具有扫频、频率跟踪功能，以达到比较佳清洗效果
EDC 系统具有可编程阀，硅片清洗机，它可以使单***滴胶按照蚀刻，开发和清洗应用的要求重复进行，如冲洗（通常是去离子水或溶剂），然后干燥（通常是氮气）等后面的处理步骤。蚀刻/显影/清洗***系统采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在完全干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和***的给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。
化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF，H2SO4，H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，朝阳硅片，目的是为了去除杂质，去离子，去原子，后还有DI清洗。IPA是，硅片清洗设备，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。
苏州晶淼半导体(图)-硅片清洗设备-朝阳硅片由苏州晶淼半导体设备有限公司提供。苏州晶淼半导体设备有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支高素质的员工***，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。苏州晶淼半导体——您可信赖的朋友，公司地址：苏州工业园区金海路34号，联系人：王经理。
