随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，气浮光学平台定制，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。
1、 马氏体不锈钢1Cr13(410)基体为马氏体***，有磁性，通过热处理可以调整其力学性能的不锈钢，通俗地说，是一类可硬化的不锈钢。马氏体的三维***形态通常有片状或者板条状，但是在金相观察中通常表现为针状。高的强度和刚性是钢中马氏体的主要特征之一。焊接平台需要良好的强度和刚性，所以选用马氏体不锈钢1Cr13(410）。
2、铁素体不锈钢1Cr17(430)基体为体心立方晶体结构的铁素体***（α相）为主，有磁性，这类钢具导热系数大，膨胀系数小、防氧化性好、抗应力腐蚀优良等特点。但塑性差、焊后塑性和耐蚀性明显降低等缺点，因而限制了它的应用。蜂窝平台不需要采用焊接工艺，且其强度和刚性主要靠内部紧密的蜂窝内芯提供，所以选用铁素体不锈钢1Cr17(430)。
3、 奥氏体不锈钢0Cr18Ni9(304)基体为面心立方晶体结构的奥氏体***（γ相）为主，无磁性，奥氏体不锈钢由于含铬镍较高，耐腐蚀和防氧化性能较好，高韧性和塑性，具有良好的加工性和和可焊性。由于奥氏体不锈钢具有良好的综合性能，在各行各业中获得了广泛的应用。无磁平台需要不导磁，所以选用奥氏体不锈钢0Cr18Ni9(304)。
热稳定性：热稳定性的关键之处在于各轴方向上都具有对称、各向均匀的钢制结构。钢制部件在热交换过程中的延伸性和收缩性是相似的，可以在温度变化过程中保持良好的平整度。钢制的蜂窝芯结构从顶板延伸到底板，中间并无塑料或铝质***管理结构，因此不会降低平台整体的刚度或是引入更高的热膨胀系数。我们采用钢质侧板，而不是木板，这样就消除了由于湿度而引起的环境不稳定因素。
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