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无尘室内该如何防止微粒子污染呢？首先在无尘室内不应该携入微粒子，具体的方法有：作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等；通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室；机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室***后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室；无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
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静电是时时刻刻到处存在的，但是在二十世纪40－50年代很少有静电问题，因为那时是晶体三极管和二极管，而所产生静电也不如现在普遍存在。在60年代，随着对静电非常敏感的ＭＯＳ器件的出现，静电问题也出现了，到70年代静电问题越来越来严重。80－90年代，随着集成电路的密度越来越大，一方面其二氧化硅膜的厚度越来越薄（微米－纳米），其承受的静电电压越来越低，另一方面，产生和积累静电的材料如塑料，橡胶等大量使用，使得静电越来越普遍存在，仅美国电子工业每年因静电造成的损失达几百亿美圆，因此静电防护已成为电子工业的隐形敌人。是电子工业普遍存在的＂硬病毒＂，在某个时刻内外因条件具备时就要发作。
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高频交流离子风咀有三种出风式分别是短形直出风式，蛇形直出风式，侧出风式，高频除静电器卡帕尔应用当今技术，采用小型压电变压器，将输入的直流电变为高频低压交流电，利用特殊合金材料制成的放电针，使放电的稳定性和针的耐磨损性，超越通常使用的金属放电针，放电针具有可更换性能，内置电晕放电产生离子的除静电电极。
