




氦质谱仪的整体结构
质谱室
形象的说,河北真空镀膜机检漏,质谱室是氦质谱检漏的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成,真空镀膜机检漏服务,内部抽空,而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。
真空系统
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度,同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节,该阀全开时检漏灵敏度高,因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度,系统中设置了标准漏孔。
电气系统
氦质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
辅助真空系统的配置
在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。
标准漏孔
使用氦质谱仪的时候是否氦质谱仪能通过自检,真空镀膜机检漏哪家好,那就认为这台氦质谱检漏仪是正常的呢?其实不然,氦质谱仪能通过自检,只是说明,氦质谱仪本身基本没有问题。但是,氦质谱仪是否准确?这个不确定。

汽车氦检漏
充氦方式:箱内充氦待检工件:汽车空调冷凝器、蒸发器及管路真空箱数量:2个真空箱尺寸:1100(长)×550(宽)×250(高)mm,鸭嘴式自动开关门每箱可检工件数量:依据工件大小而定生产节拍:可依据客户要求而定氦气是否回收:是,设备带回收系统
双箱联动运行,每个真空箱可检多个工件真空箱翻盖式结构,自动开关箱门特殊设计的夹具与工件相匹配,满足不同工件的检测需要一体式设计,即整台设备安装在一个底座上,真空镀膜机检漏厂家,设备移位简单方便配备堵塞检测功能,判断工件是否有堵塞配备电脑及打印机,自动存储及打印检测数据适用于汽车空调蒸发器、冷凝器、管路的氦检漏方案

压氦法检漏
压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中,然后连至检漏仪将其抽空,示踪气体通过漏孔泄漏出来,经检漏仪检测总泄漏量。
一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好,再将器件放入加压罐内压入氦气,氦气进入有漏孔的器件内部,无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423,2328文件而定,器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空,待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测,其漏率在漏率表上显示出来。
一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件,这一批的总漏率没超过报废预定值,说明这一批合格;总漏率超过报废预定值可以取出一半,剩下的一半继续检漏,这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中,依此检漏直至检出有漏孔的器件。

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