生物法 该法基于成熟的生物处理污水技术上发展起来，具有能耗低、运行费用少的特点，在国外有一定规模的运用。其缺点在于污染物在传质和消解过程中需要有足够的停留时间，从而增大了设备的占地，同时由于微生物具有一定的耐冲击负荷限值，废气处理工程，增加了整个处理系统在启停时的控制或维护困难。该法目前在国内污水站废气治理中有少量运用，对于工业废气中治理的运用很少。
等离子法
等离子法利用等离子废气处理设备中的介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生富含较高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
线路板厂废气处理设备该使用什么工艺？
线路板厂的废气处理设备一般使用组合设备，比如喷淋塔+活性炭+UV光解，活性炭吸附脱附+催化燃烧工艺
喷淋塔+活性炭+UV光解
现将废气集中收集起来，一般是用集气罩，吸收过来的废气经过喷淋塔，喷淋塔可以去除可溶于水的粉尘，去掉粉尘的废气在经过活性炭吸附，除掉有机废气部分，然后在经过UV光解除臭，排放出去的气体则可以安全达标排放。 喷淋塔是利用水处理粉尘的废气粉尘处理设备，当废气粉尘进入喷淋塔中，喷淋系统向下均匀地喷洒出水，废气粉尘与水结合后沉淀到水池里。 UV光解净化设备是一种无二次污染的有机废气处理设备，其原理是利用紫外线灯照射空气中的氧气，使到氧气变成了臭氧，利用臭氧的强氧化性分解废气分子，达到净化的作用。
活性炭吸附净化装置是利用活性炭的吸附性设计而成的，活性炭表面具有许多的孔隙，孔隙之间存在着吸引力，当废气与活性炭接触时就会被活性炭吸附。
活性炭吸附脱附+催化燃烧工艺（RCO） 将废气收集起来，通过活性炭吸附，达到饱和时，再进行脱附，脱附后的废气已经被浓缩，在进入催化燃烧装置进行催化燃烧成二氧化碳和水蒸气排出。
水喷淋+干式过滤器+活性炭吸附+催化燃烧此工艺多用于喷漆、烘漆VOCs废气，主要污染物为苯、与、总VOCs。含有机物的废气经风机的作用，首先经过水喷淋将大部分漆雾去除后进入干式过滤器，干式过滤器一方面可以去除气体中的水分，另一方面可以进一步拦截部分颗粒物，保护后续活性炭处理设施。预处理后的气体进入活性炭吸附箱，通过吸附作用，有机物质被截留在其内部，处理达标的气体经烟囱高空排放。运行一段时间后，活性炭达到饱和状态，吸附作用失效，此时有机物已被浓缩在活性炭内。按照PLC自动控制程序，催化氧化设备自动升温将热空气通过风机送入活性炭床使碳层升温将有机物从活性炭中“蒸”出，脱附出来的废气属于高浓度、小风量、高温度的有机废气。该部分气体进入催化燃烧室，在催化剂作用下燃烧后净化，完成脱附过程。再通过热交换器将净化后的气体降温，后经风机引高空排放。为了保证处理流程的连续性，该工艺中活性炭箱一般采用一用一备，当其中一个炭箱处于脱附状态时，另外一个处于吸附状态，通过控制程序自动切换，交替使用。值得注意的是，脱附过程中要严格按照操作规范进行，注意控制燃烧温度，避免因操作不当导致火灾或事故。由于某些物质，如氯离子，对脱附所用催化剂具有作用，会造成催化剂“”而失去催化作用，因此活性炭吸附+催化燃烧工艺不适用于处理含氯离子等对催化剂有作用成分的气体。
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