等离子清洗法利用等离子体产生的自由基与有机***反应，再以气流的方式去除，从而达到清洗的目的。由于AP功率强，一般会对金属表面产生影响，所以，晶圆腐蚀台，在金属制程中一般不采用AP Pla***a的清洗技术。AP使用的气体主要是氮气和空气按照一定的比例混合，同时，和玻璃基板保持合适的距离，加载一定的电压，从而产生自由基，对基板表面进行清洁。
通用超声波清洗机清洗零件实用性强，已遍及使用于电子、钟表、光学、机器、汽车、航空、原子能财制作、等许多行业。 超声波清洗机通常安设在某些特定物件清洗的生制作流水线上。 楷模的软磁器件超声波清洗设施，被清洗物件从进料口可传动的不锈钢网带送人超声波清洗槽清洗，再经喷淋、烘干等工序后出料，实现被清洗物件可直接包装入库。
各工序简要说明以下：
进料：物件进料可采用半踊跃进料或出料：物件出料可采用踊跃收料或手工收料法子，格被清洗物件装入包装盒内。 经过上述工序就完成为了物件实现利用超声波清洗的全过程。 目前，还有一种超声汽相清洗机，晶圆清洗机，它是选用·溶剂作清洗液，连云港晶圆，具有极强的溶解污垢的才干，用于清洗半导体晶片等净治度申请特别高的物件。
清洗缸：清洗缸是用来装载清洗液及被清洗工件的不锈钢容器，大多数工件可先装在网状框架内，再一同放人缸内清洗。
清洗机
清洗机，晶圆清洗设备，用于冲洗过滤液压系统在制造、装配、使用过程及维护时生成或***的污染物；也可以适用于对工作油液的定期维护过滤，提高清洁度，避免或减少因污染而造成的故障，从而保证液压系统设备的性能、高可靠度和长寿命。
超声波清洗机是一种利用超声波空化这一科学技术，通过超声换能器振动发射的原理，较好地清洁附着于物品上的污垢、油垢、沉淀物等脏物，清洗效果明显直观，是集冲洗、清洁、杀菌为一体的全超声波清洗。
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