




氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所,连接好检漏用管路及压力表,应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。氦质谱检漏主要领域:原子能工业——气体扩散处理系统;高能物理研究院——及其配件;
仪器工作在稳定的状态,真空检漏系统,在仪器的检漏口喷一定量的氦气, 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式,仪器再按开始键,记录清氦所需时间。而通过实验表明,利用氮气来清氦的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的优越性,对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置,有效的避免了在检漏过程中,氦气残留对仪器检测灵敏度的影响,另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置,即仪器在检测到大漏时,仪器自动停止,防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择,利于对仪器的清氦,保证仪器检测的高灵敏度。
氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体,氦是单原子稀有气体分子,在空气中的含量(5.2ppm), 无色、无味,常温下为气态的惰性气体,极不活泼,既不能燃烧,也不助燃,化学性能稳定。在检测器件的密封性能时,遇到器件大漏时,有大量的氦气进入氦质谱检漏仪,短时间内仪器内部氦气难以清除,造成仪器的本底升高,仪器的检测灵敏度降低,影响仪器的再次检测精度。
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