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一种DESIRE的干法显影工艺会使用和氧等离子体；硬烘焙：与软烘焙一样通过溶液的蒸发来固化光刻胶，常见工艺流程如下:显影检验（develop inspec  DI）：目的是区分那些有很低可能性通过终掩膜检验的晶圆、提供工艺性能和工艺控制数据、以及分拣出需要重做的晶圆。

显影技术被设计成使之把完全一样的掩膜版图案到光刻胶上。

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