催化燃烧设备为了防止废气中水分和粉尘颗粒物进入到吸附净化装置系统，在活性炭吸附床前设置两道干式除尘过滤器；其采用过滤净化、效率较高、无二次污染的玻璃纤维阻燃过滤材料净化杂质，这种干式过滤材料是专门开发出来的适用空气净化特点的材料，由多层玻璃纤维复合而成，密度随着厚度逐渐增大。过滤时多层纤维对微小粒子起拦截、碰撞、扩散、吸收等作用，碳交易，废气通过时将尘粒容纳在材料中。
RCO催化燃烧具有净化效率较高，一般均可达99%以上，同时RCO催化燃烧具有运行费用低的优点，其热回收效率一般均可达95%以上。维护措施为低温“闷死”：正常运行前，催化床需先在新鲜风中预热至反应温度，方可通入有机物废气；含硫等毒性物质存在：通过前处理手段除掉此类物质或者选用有相应抗性的催化剂；灰尘、积炭、高沸粘性物：做好除尘等前处理；超温：当催化床温度超过600℃时系统停止运行或者采用新风稀释、冷却降温。
RTO，是指蓄热式热氧化技术，英文名为“Regenerative Thermal Oxidizer”。RTO蓄热式热氧化回收热量采用一种新的非稳态热传递方式，原理是把有机废气加热到760℃以上使废气中的VOC氧化分解成CO2和H2O。氧化产生的高温气体流经陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此蓄热用于预热后续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。RTO技术适用于处理中低浓度（100-3500mg/m3）废气，分解效率为95%-99%。
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