




净化工程设计时两大特性
1、维护性:对净化工程C/R而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中重要的为天花板,其包含HEPA及ULPA等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说:若建造之预算因某种原因被限制,除了少数的小钱外,其天花板将趋于更贵的地步,其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计要明确。
2、耐久性:无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体Fabs倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。
净化工程工艺布置和设计综合协调净化工程工艺布置应符合下列要求:
净化工程应考虑大型设备安装和维修的运输路线,并预留设备安装口和检修口。
净化工程内的噪声级,应符合下列要求:
一、动态测试时,净化工程内的噪声级不应超过70分贝A。
二、空态测试时,乱流净化工程内的噪声级不宜大于60分贝A;层流净化工程内的噪声级不应大于65分贝A。 注:
(1)由于技术经济条件限制,或噪声大于70分贝A对生产无影响时,噪声级可适当放宽,但不宜大于75分贝A;
(2)上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置(人离开)的测量值。对于变动噪声,则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。
对洁净空气流***的一般要求如下:
因为送入空气与室温温差大,为避免室内生活区、工作区温度不均匀或有吹冷风、吹热风的不舒适感,所以无论是采用侧送风口或是顶送散流器,都要求其出风有较强的紊流系数,具有一定的引射能力,以利于吸收了室内热湿负荷的空气被卷吸及掺混到送风气流中,使送风气流的温、湿度尽快地接近于室内设计温、湿度。
当送风气流以回流的状态进入生活区、工作区时,其温、湿度从工艺要求来看,天津车间净化工程,已进入控制精度范围;从人的感受来说也是柔和和可接受的。普通空调房间侧送侧回、送风形成贴附射流就是空调房间典型的气流***方案。
空调房间气流***的特点是除了普通存在送风卷吸面上升的气流外,还有很多的涡流。这种上升气流与尘、菌受重力作用向下运动的方向相逆,尘、菌将随气流扬起,一些颗粒较大的尘粒将明显滞后于气流,在室内滞留时间将更长。涡流也助长了尘、菌在室内的回旋,而不是快捷地随气流从室内离去。这都是与洁净空气流***的原则不同所致。
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