




无尘室怎样选择无尘材料:
一.物料净化道路
各种物件在送入无尘区前有必要通过净化处理,简称;物净。物料净化道路与人净道路应分隔,如果物料与人员只能在同一处进入无尘车间,也有必要分门而入,物料先通过粗净化处理。
关于出产流水线不强的场合在物料道路中心可设中心库。如果出产流水线很强,则选用直通式物料道路,有时还需求在直通道路中心设屡次净化、传递设备。
在体系规划上,物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒,所以相对无尘区应坚持负压或零压,如果污染***性大则对进口方向也要坚持负压。
净化工程工艺布置和设计综合协调净化工程工艺布置应符合下列要求:
一、布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
二、在满足生产工艺要求的前提下,空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房,空气洁净度等
级相同的工序和工作室宜集中布置,靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。
三、净化工程内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
净化工程要控制温湿度具体措施
洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,天津洁净车间,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。净化工程要控制温湿度具体有什么措施?
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