特种气体广泛应用于半导体制造行业，是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射， 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样， 显示适当的***标记(例如、、***等) 。 特种气体 specialily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种气体在集成电路领域的应用：特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料，环保气，处于半导体产业链的 上游，被称为半导体的“源”，主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
特种气体应用于国民经济的很多行业， 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展， 无论在气体品种上，还是在数量上， 都以的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求。灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，环氧乙1烷可杀灭细1菌（及其内孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体，另一类为混合气体。对于单元高纯气体，根据现已收集到的文献，汇总起来共有227种，可分成五个类别。
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