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全自动硅片腐蚀清洗机
全自动硅片腐蚀清洗机型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB。该设备适用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀，德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;一、槽体结构：该槽体实现腐蚀或后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能。它由安装在槽体底部的排阀、DI注入孔（包括氮气鼓泡）及顶部左右两侧的DI喷嘴实现槽体的快速注入与排放。二、工艺控制：冲洗槽（QDR）的工作过程由***K200型控制器保证。所有工序均由机械手自动行走自动完成。
残留的光刻胶、树脂、残留物和其他有机污染物暴露在等离子体中，清洗机 slc (100)可以在短时间内去除。等离子表面清洗和表面改性（等离子表面处理）利用等离子的特性对待处理固体原料的表面进行清洗、活化和激发，去除表面的微观结构、化学性质和能量。目的是改变。等离子体是一种高能、不稳定的状态。等离子体以各种方式用于利用这种高能量和不稳定性。
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