派瑞林涂层薄膜的止回阀。微阀具有扭曲型的派瑞林涂层膜， 当有流体顺流时，派瑞林涂层， 派瑞林涂层薄膜抬起， 允许流体通过; 当有流体逆时，派瑞林涂层薄膜封住了通道阻止其流动。该结构的微阀顺流冲破压力小于0. 5 kPa， 逆流的制止压力达600 kPa以上， 同时具有较低的反向泄漏， 性能非常好。由于派瑞林涂层较小的杨氏模量， 产生了较大的变形， 基本可以忽略由薄膜引起的流体阻抗。单通道常闭微止回阀，潮州派瑞林， 整个微阀和微通道都是由派瑞林涂层 C制成的， 其结构为在圆形阀座上的一个圆形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的顶部中心， 由于大气压强使子腔压缩到底部， 从而获得微阀的闭合模式。这种新型的子腔结构是通过没有层结构的释放和在真空条件下派瑞林涂层薄膜的气相沉积来实现的。通过减小密封板和阀座的重叠面积和溅射金属金来减小静摩擦力， 从而减小顺流冲破压力。此种结构的微阀的顺流冲破压力为20～40 kPa， 在逆流压力为270 kPa也不会出现可见的***现象。
常用永磁体有钕铁硼磁体。即磁体是通过粉末冶金工艺烧结成型的产品，因其中的富钕相、钕铁硼主体及边界很容易形成晶间腐蚀，并且稀土元素钕性质活泼，因而使得整个钕铁硼材料的耐蚀性极差，在潮湿环境下极易氧化生锈腐蚀。
目前，常见的钕铁硼磁体的防腐方法主要有电镀、磷化、电泳等。但这些常规电镀方法普遍存在各种各样的问题，例如工艺稳定性不好，适用范围较窄，防腐能力不足，设备***大，运行成本高等问题。
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