检漏仪调成真空模式，对检漏仪和机组进行连接，开启检漏仪，当真空度达到检漏仪开检压力后，对机组可能的泄漏点吹喷氦气，当氦气泄漏量达到检漏仪设定的报警值时，检漏仪报警。吹喷氦气时应当注意以下几点:从机组的下方到上方，靠近检漏仪处到远离检漏仪处逐步喷吹。检出大漏后要经过修补再检小漏。当存在两个邻近的漏孔时，盖住其中- -个漏孔再检测另一个。当喷吹某点时，检漏仪显示值有变化但较为缓慢，表明邻近的其他地方有较大泄漏。检漏场地应有良好通风，但不影响喷出氦气的气体流向。总结:氦质谱检漏仪在化锂吸收式制冷行业广泛应用以后，使制冷机的寿命有着明显提高，汽车行业检漏厂，保证了化锂制冷机15年以上的使用寿命
对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，***，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。
航天技术的不断发展， 泄漏问题已经成为航天产品设计制造中必须考虑的关键因素，越来越多的收到各方关注，相关电子元器件漏率检测已经引起科研人员的高度重视，目前应用检漏技术的主要是为密封继电器、集成电路外壳。.利用氢质谱检漏仪可以方便地对密封继电器作漏率测定。针对不同的产品，采用合适的检漏方法。目前密封继电器的漏率检测主要是GJB360A-96的112实验程序。
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