等离子法存在高压放电容易的***性，一般不推荐使用。目前比较好的有机废气处理方法是废气处理塔采用五重有机废气吸附过滤净化系统，废气处理设计周密、层层净化过滤废气，效果较好，都是用到活性炭吸附箱。
而无机废气按其性质分为，如hcl（盐酸）、h2s（***）、nox（氮氧化物）等，含尘废气如各种金属冶炼过程中的氧化粉尘、矿石加工过程中的石粉尘等等。
无机废气处理技术、无机废气如hcl、h2s的处理一般用液体喷淋吸收处理。
曾有研究报道指出，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，废气处理设备维修，从而形成氟化盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。 所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的HF和SiF，经常会用氨水、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的***物质转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。
喷漆工艺广泛地应用于机械、电气、家电、汽车、船舶、家具等行业。喷漆涂料有两种，其一是不挥发涂料，其二是挥发涂料。不挥发涂料包括成膜物质和辅助成膜物质，挥发涂料包括指溶剂和稀释剂。 喷漆废气中的有机气体来自溶剂和稀释剂的挥发，有机溶l剂不会随油漆附着在喷漆物表面，在喷漆和固化过程将全部释放形成有机废气。《大气污染物综合排放标准》中规定，喷漆工艺中产生的甲l苯、二甲l苯和非甲l烷总烃的排放量要达到限值要求。
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