湿法设备-苏州晶淼半导体(在线咨询)-岳阳湿法

酸加氧化剂清洗:

　　酸加氧化剂清洗液配方为:HCI∶H2O2∶H2O=1∶5∶5~1∶10∶10，可溶解碱金属离子，岳阳湿法，并生成碳酸盐和铝、铁及镁之氢氧化物，另外盐酸中氯离子与残留金属离子发生络合反应形成易溶于水溶液的络合物，也可去除金属污染物。一方面可以去除有机物污染，另外配合搅拌和超声过程中形成的大量气泡对表面大颗粒污染物产生较大冲击力，使污染物脱离表面。

超声清洗：

　　腐蚀后的MCP是由微米级细孔构成的复杂网状结构，普通的清洗方法一般不能达到孔内，而孔内芯料的反应生成物及其他污染物会在后序工艺中会产生重复污染。无论是采用·溶剂或是清洗液清洗都容易引入新的污染源，然而利用超声波清洗技术却可以实现无重复污染，而且能深入MCP孔内的效果。

全自动真空干燥系统暨应对传统真空干燥缺陷的对策

由于超级电容MODULES在使用过程中经常出现温度升高、充电不足、高温连续使用时膨胀、爆裂的现象，湿法腐蚀台，美国MAXWELL确认与超级电容CELL的制造工艺和工艺设备有相关性，湿法腐蚀设备，TIME一直在研究真空干燥的理由和方法，2006年美国MAXWELL找到了TIME，就开发全工序全自动的真空干燥系统达成协议。

全自动超级电容真空干燥系统系统在各单个制备工序以及在从一道工序转移到下一道工序的过程中完全实现高真空环境；有效排除超级电容内部水、气、杂质的影响；从而提高功率密度，降低内阻，改善高频特性；极大地提升了超级电容单体和模组的一致性及使用寿命等技术参数，同时生产效率数倍提高。

全自动超级电容真空干燥系统系统标准配置：

TE-ZGY全自动预热炉4台﹑TE-ZGL全自动真空干燥炉12台﹑

TE-ZGC半自动真空周转车2台、TE-ZGJ全自动真空手套界面箱1台。

清洗:

      从溶解的相似相溶规律出发，一般采用-乙醇清洗，或采用乙醇yi醚混液和异bing醇代替乙醇。采用乙醇-yi醚是因为这种混合液的挥发性强，采用异bing醇是因为异bing醇的脱脂能力强。为降低这些本身在MCP表面的残留，在每次使用后都要用超纯水进行漂洗。在不***MCP表面特征的情况下可结合搅拌、鼓泡、溢流、喷淋、超声、蒸汽脱脂等方法一起使用。