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PVD真空镀膜过程的均匀性

PVD真空镀膜过程非常复杂，由于镀膜原理的不同分为很多种类，仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的PVD真空镀膜，影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。

薄膜均匀性的概念：

厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位，金属真空镀膜厂家，约为100A)，金属真空镀膜加工厂家，真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜又分为很多种，总体看，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射)，晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以pld

为例，因素主要有：靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。对于不同的溅射材料和基片，***佳参数需要实验确定，是各不相同的，镀膜设备的好坏主要在于能否精i确控温，能否保证好的真空度，能否保证好的真空腔清洁度。MBE分子束外沿镀膜技术，已经

比较好的解决了如上所属的问题，但是基本用于实验研究，金属真空镀膜，工业生产上比较常用的一体式镀膜机主要以离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜为主。

在真空电镀前的碱液除油脱脂中使用的工艺条件要根据镀件的材料及表面含油的情况而定，真空电镀等耐碱性材料的零件可使用强碱性清洗液，真空电镀除油温度也可以较高，金属真空镀膜加工厂，以便提高除油的效率和速度，而对锌、铝、铜等材料的零件等不能使用氢氧i化钠等强碱性溶液，温度也不能太高以免产生腐蚀，真空电镀在使用硬水配制的酸碱洗液时，应加入络合剂。一般的碱液除油后，真空电镀零部件的表面尚未达到表面处理要求的出货标准，真空电镀还必须进行电解脱脂处理工艺后才能达到出货要求或者进行下一个工序。