氮气纯化装置以深冷法制氮、PSA变压吸附制氮，氮膜分离制氮的普通氮气为原料，经过加氢催化除氧，冷凝、吸附二级干燥，过滤，除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃，获得高纯度的氮气。用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时，我们可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1%时，则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，则采用化学除氧工艺方法。
深冷制氮的工艺流程和设备简介
1、深冷制氮的典型工艺流程：
整个流程由空气压缩及净化、空气分离、液氮汽化组成，膜制氮公司，见图-1。
⑴ 空气压缩及净化
空气经空气过滤器清除灰尘和机械杂质后进入空气压缩机，压缩至所需压力，然后送入空气冷却器，降低空气温度。再进入空气干燥净化器，除去空气中的水份、二氧化碳、及其它碳氢化合物。
⑵ 空气分离：
净化后的空气进入空分塔中的主换热器，被返流气体（产品氮气、废气）冷却至饱和温度，送入精馏塔底部，在塔顶部得到氮气，液空经节流后送入冷凝蒸发器蒸发，同时冷凝由精馏塔送来的部分氮气，冷凝后的液氮一部分作为精馏塔的回流液，另一部分作为液氮产品出空分塔。
由冷凝蒸发器出来的废气经主换热器复热到约130K进膨胀机膨胀制冷为空分塔提供冷量，膨胀后的气体一部分作为分子筛的再生和吹冷用，然后经排入大气。
⑶ 液氮汽化
由空分塔出来的液氮进液氮贮槽贮存，当空分设备检修时，贮槽内的液氮进入汽化器被加热后，送入产品氮气管道。
深冷制氮可制取纯度≧99.999%的氮气。
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