




相对于传统镀膜方式,真空pvd镀膜加工,真空镀膜应用属于一种干式镀膜,它的主要方法包括以下几种:
真空蒸镀
其原理是在真空条件下,用蒸发器加热带蒸发物质,真空pvd镀膜厂,使其气化或升华,真空pvd镀膜,蒸发离子流直接射向基片,并在基片上沉积析出固态薄膜的技术。
溅射镀膜
溅射镀膜是真空条件下,在阴极接上2000V高压电,激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。
真空镀膜加工的表面硬度高 化学镀镍层的硬度一般在HV300-600,高的甚至可达到HV700以上,而电镀镍的硬度仅为 HV160-180,显然化学镀镍层的硬度要远大于电镀层的硬度.而其化学镀镍层经过一定的热处理后,其硬度还可以提高,可达HV900以上。
自润滑性好 经合金镀液处理过的金属表面是一种非晶态,真空pvd镀膜价格,即处于基本平面状态,有自润滑性,因此摩擦 系数小,非粘着性好。
真空镀膜的方法很多,计有:
(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。
(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3Pa,然后将阴极接上2000V的直流电源,便激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。
(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。
(4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。
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