一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及***性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；定制的的密封接头，减少误判。主要配置：检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。 放大器。质谱模块。
喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
采用试验件对机翼整体油箱漏率进行摸索，整体油箱试验件检漏总体上分为两个部分: -是粗漏漏点检测与工艺修补;二是氦质谱细漏检测，汽车行业检漏厂商，粗漏检测过程涉及的主要设备有压缩空气气源、自动配气平台、控制阀等。试验时，首先接通压缩空气气源，启动整体油箱快速检漏设备，设定充气气压。充气过程结束后，稳压15min， 观测检漏设备上的压降曲线，确定是否存在粗漏。若压降明显，说明有粗漏漏点存在。经肥皂泡方法确定粗漏漏点位置后，利用涂密封胶的方法对粗漏漏点进行工艺修补，重复检测修补后，至油箱试验件在规定时间内的压降符合技术要求后，可以进行氦质谱细漏检测。
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