光学元件的形变是系统不稳定的第二大来源。即使将光学平台视作刚体，该刚体的固有振动依然会触发光学调整架的自然振动，导致光路不稳定。为了定量模拟光学调整架在典型实验室环境中可能产生的位移，我们将1英寸调整架固定于6英寸镜柱上，并在光学平台表面模拟类似于桌面上的风扇、电动位移台或其他声学扰动的宽带噪声。调整架的位移由一个不产生任何质量效应的激光测振仪来测量。实验使用了***artTable主动阻尼光学平台，同时测量结构阻尼和主动阻尼的运动，以便充分地体现阻尼桌面的减振效果。
电动平移台系统基本由三部分组成：位移台；驱动电机；控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩，分辨率，加速度，信号处理，使用功能（如扫描，圆弧插补）等性能参数。电动平移台则是系统的心脏，主要技术指标如位移精度，行程，负载，稳定性，适用环境，外形长度大小均由其决定。电动平移台根据外形长度大小，行程，旋转角度，导轨形式，驱动方式等又分为多种系列，并且可以任意组合，可满足空间长度大小，承载大小，可调整的自由度数量，手动自动等需求。
随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，气浮光学平台价格，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在***过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。
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