parylene coating在喷气推动实验室中进行的真空测试显示，塑料真空镀膜，在120℉和10-6torr下，ParyleneC的整体质量损失为0.12℅，ParyleneN的整体质量损失为0.30℅.对于两种髙聚物，挥发可收集物小于0.01℅（测试灵敏度的极限）
Parylene的特性之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有一定的关系。图3画出了相关的曲线。对于5个微米（0.0002inch）以下的薄膜，这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据表明，五金真空镀膜，两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能，清远真空镀膜，即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小，单位厚度的击穿电压一般将升高。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射)，晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以pld为例，派瑞林涂层公司，因素主要有：靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。对于不同的溅射材料和基片，纳米真空镀膜，参数需要实验确定，是各不相同的，镀膜设备的好坏主要在于能否控温，深圳派瑞林涂层，能否保证好的真空度，能否保证好的真空腔清洁度。MBE分子束外沿镀膜技术，已经比较好的解决了如上所属的问题，但是基本用于实验研究，工业生产上比较常用的一体式镀膜机主要以离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜为主。
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