般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
风机从FFU顶部将空气吸入,经初效过滤器,过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均风速和气生影响。流层,使洁净空气气流呈垂直单向流,洁净棚供应,从而保证了工作区内所要求的洁净度。
为避免这些因素对净化棚的风速和气生过大的影响,要注意操作人员的操作规程,将风速控制在一个合理的范围内。
洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系,净化空调系统既要服从建筑总体布局,建筑布局也要符合净化空调系统的原则,才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置,而且要给建筑布局提出要求,使其符合洁净室原理。
洁净室的平面布局
洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
洁净室的平面布置可以有以下几种方式:
外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,甚至和洁净室同级。
两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房。
式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。
风量检测前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,荆门洁净棚,有无障碍,所有阀门应固定在一定的开启位置上,且必须实际测量被测风口/风管尺寸。
对于单向流洁净室,可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,测定截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面,如有阻隔面,该测定截面应抬高到阻隔面之上0.25M。取距送风面0.5M的垂直于地面的截面,截面上测点间距不应大于1M,一般取0.3M。测点数应不少于20个,洁净棚报价,均匀布置。
测新风量、回风量等负压风量时,洁净棚价格,如受环境条件限制,无法采用套管或风量罩,也不能在风管上检测时,则可用风口法。风口上有网、孔板、百叶等配件时,测定面应距其50mm,测定面积按风口面积计算。对于百叶风口,也可在每两条百叶中间选不少于3点,并使测点正对叶片间的斜向气流。测定面积应按百叶风口通过气流的净面积计算。
对于非单向流洁净棚,内安装过滤器的风口可采用套管法、风量罩法或风管法测定风量,为测定回风口或新风口风量,也可用风口法。
用任何方法测定任净车间风口风量(风速)时,风口上的任何配件、饰物一律保持原样。
测定净化棚内微风速仪器的刻度或读数不应大于0.02m/s,一般可用热球风速仪,需要测出分速度时,应采用超声波三维风速计。
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