




按照刻蚀工艺划分,其主要分为干法刻蚀以及湿法刻蚀。由于干法刻蚀可以实现各向异性刻蚀,符合现阶段半导体制造的高集成度的需求,因此在小尺寸的***工艺中,基本采用干法刻蚀工艺,导致干法刻蚀机在半导体刻蚀市场中占据相对主流地位。而按照被刻蚀材料划分,可以分为硅刻蚀、介质刻蚀以及金属刻蚀。目前由于下游的需求场景较多,介质刻蚀机与硅刻蚀机的市场占比较高,成为市场主流。
酸洗时金属时可能会有腐蚀金属表面的情况发生,湿制程设备,可以使用酸性金属清洗剂来代替酸洗溶液,合肥湿制程,这样一来,既保证了清洗剂效果,对金属材质也不会产生损伤。也可以在酸洗时在酸洗溶液中加入酸性金属清洗剂,这种清洗剂会***酸洗溶液对金属材料的腐蚀,***酸洗溶液挥发,避免酸雾的形成,可保护***健康安全。
化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,H2SO4,湿制程腐蚀台,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,后还有DI清洗。IPA是,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,湿制程腐蚀机,是为了减少partical的。
硅片刻蚀台
苏州晶淼作为国内的湿法制程设备制造企业之一,一直全心服务于微电子集成电路、半导体材料、半导体照明LED、光伏太阳能、LCD-TFT 液晶等行业领域。通过多年清洗设备的研发生产经验及周到快捷的***服务赢得了越来越多的客户信赖。
多年来,苏州晶淼一直专注于为半导体材料、微电子集电路、LED、有机发光二级管、三极管、电力电子器件、分立器件、MEMS传感器、光伏太阳能、等行业域提供完备工序的湿法清洗、腐蚀制程设备。
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